本实用新型涉及一种光刻胶生产用多阶过滤装置，包括一级过滤釜和二级过滤罐，其技术要点是：一级过滤釜内下部设有水平过滤网Ⅰ，所述水平过滤网Ⅰ上方设有同心的环形过滤筒，环形过滤筒内悬设有搅拌机构，一级过滤釜顶部设有固液混合物投口、超纯水入口和溶剂入口，一级过滤釜底部设有三通接头并利用三通接头连接有废水输送管路和再过滤输送管路，再过滤输送管路末端设有提升泵，二级过滤罐底面中心支撑有纳滤装置，纳滤装置的顶部支撑有过滤斗，过滤斗底部设有水平过滤网Ⅱ。本实用新型从根本上解决了现有过滤装置过滤效果差的问题，保证感光树脂的再利用指标符合生产要求，节约资源。