一种膜层厚度检测仪用辅助装置

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摘要

本实用新型涉及一种膜层厚度检测仪用辅助装置，其包括罩体，所述罩体可拆卸式安装在放置膜层厚度检测仪的工作台上，所述罩体上开设有与膜层厚度检测仪上的检测台相配合的罩口，所述罩体上设有检测装置、控制装置以及制冷装置，所述检测装置用于检测罩体内温度高低并输出罩体检测信号，所述控制装置耦接于检测装置并响应于罩体检测信号以输出控制信号，所述制冷装置耦接于控制装置并响应于控制信号以输出执行信号，当罩体内的检测环境温度高于预定值时，所述控制装置控制制冷装置启动，本实用新型使用时，能有效降低环境因素（例如风或者温度）对测量薄膜厚度的影响，进而有效提高薄膜厚度测试仪测量的准确度。

基本信息

专利标题：

一种膜层厚度检测仪用辅助装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921429528.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-28

授权号：

CN210165934U

授权日：

2020-03-20

发明人：

王立峰王磊孙洳刚

申请人：

深圳市富吉真空技术有限公司

申请人地址：

广东省深圳市宝安区沙井街道沙一社区新沙路鑫鑫田工业区7栋厂房五层

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921429528.5

主分类号：

G01B21/08

IPC分类号：

G01B21/08 G01K7/24 F24F11/88 F24F11/64 F24F110/10