一种大功率程控固态微波设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种大功率程控固态微波设备，包含有微波锁相功率源，功分器，支路微波功率放大器，微波功率径向合路器，波导定向耦合器，控制设备，供电电源，水冷设备。微波锁相功率源输出稳定的微波信号，经过功分器，分别进入多支路微波功率放大器，放大后的微波信号通过微波功率径向合成器合成，波导同轴转换将同轴结构转换为波导结构，合成的微波功率经过波导馈入MPCVD反应腔。本实用新型采用程控固态微波设备作为MPCVD装置的微波功率源，便于实时控制，可以根据需要调节频率、功率和相位，使反应腔始终处于匹配状态，确保反应微波功率稳定，简化反应腔的调谐结构，可以提高金刚石膜的均匀度，提高金刚石膜的性能。
基本信息
专利标题 ：
一种大功率程控固态微波设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921429810.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-30
授权号 ：
CN210404328U
授权日 ：
2020-04-24
发明人 ：
马文东朱梁吴则革赵连敏单家芳刘甫坤
申请人 ：
中国科学院合肥物质科学研究院
申请人地址 ：
安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号
代理机构 ：
安徽合肥华信知识产权代理有限公司
代理人 ：
张果果
优先权 ：
CN201921429810.3
主分类号 ：
H01S1/02
IPC分类号 ：
H01S1/02 C23C16/517
法律状态
2020-04-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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