一种平台调平控制装置
授权
摘要

本申请公开了一种平台调平控制装置,包括:参考光光源、图像采集部件、显微镜、被测样品、平台、平台驱动部件和控制终端;图像采集部件与显微镜的出口端连接,与显微镜的干涉物镜位于同一光路;参考光源与显微镜的入口端连接,与显微镜的干涉物镜位于同一光路;被测样品平放于平台上,且位于干涉物镜的下方;平台驱动部件位于平台下方,与平台驱动部件通过运动副连接;控制终端与平台驱动部件电连接。本申请提供的一种平台调平控制装置,可根据平台的位移偏移控制平台驱动部件对平台进行调平,能够替代人工对平台进行调平。

基本信息
专利标题 :
一种平台调平控制装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921432650.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-30
授权号 :
CN210638664U
授权日 :
2020-05-29
发明人 :
高健黄义亮张揽宇陈新邓海祥
申请人 :
广东工业大学
申请人地址 :
广东省广州市越秀区东风东路729号大院
代理机构 :
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 :
黄忠
优先权 :
CN201921432650.8
主分类号 :
G01B11/30
IPC分类号 :
G01B11/30  G01B11/06  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/275
••用于检测轮子准直度
G01B11/30
用于计量表面的粗糙度和不规则性
法律状态
2020-05-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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