一种用于检验镀膜产品的无尘棚
授权
摘要
为了使得净化工程的造价既便宜又能满足镀膜产品检验对环境的要求,本实用新型提出一种用于检验镀膜产品的无尘棚,其包括:无尘棚1、洁净操作台4和数台FFU2;FFU2设置连接在无尘棚1的顶端;无尘棚1包括龙骨11和玻璃块12,玻璃块12镶嵌于龙骨11组成的框架结构中,所述无尘棚1的一侧壁设有门帘片3,其特征在于:无尘棚1和FFU2设置在镀膜无尘室内,所述洁净操作台4设置在无尘棚1内;由于是一个单独的框架结构,缩短了过滤所用的时间,节约电能;且至于万级的无尘室内,需要的FFU2数量就会减少节约了成本但是却提高了过滤等级。
基本信息
专利标题 :
一种用于检验镀膜产品的无尘棚
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921444258.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-02
授权号 :
CN210560735U
授权日 :
2020-05-19
发明人 :
袁小夫舒本剑
申请人 :
安徽安合鑫光电科技有限公司
申请人地址 :
安徽省滁州市苏滁现代产业园泉州路100号苏滁现代工业坊四号厂区10号标准厂房
代理机构 :
苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
曹恒涛
优先权 :
CN201921444258.5
主分类号 :
C23C14/56
IPC分类号 :
C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备;维持真空的装置,例如真空锁定器
法律状态
2020-05-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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