一种电解蚀刻装置
授权
摘要
本实用新型属于电解蚀刻领域，用于提供一种便于控制蚀刻速度的电解蚀刻装置，其技术方案要点包括：一种电解蚀刻装置，包括反应单元，反应单元包括阴极、阳极、电解液，所述阳极用导电夹头连接待蚀刻件，所述待蚀刻件的待蚀刻部分浸没在电解液中，包括数段电解槽，阳极在各段电解槽之间移动，阴极与电解槽之间的相对位置保持不变，每段电解槽内的电流大小各自对应控制不同蚀刻量。适用于蚀刻工况，能够通过逐步蚀刻同一块待蚀刻板来达到降低一次性蚀刻过多的风险。
基本信息
专利标题 ：
一种电解蚀刻装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921456338.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-03
授权号 ：
CN211005706U
授权日 ：
2020-07-14
发明人 ：
刘建波朱爱明吴志鹏
申请人 ：
昆山东威科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市巴城镇东定路东侧
代理机构 ：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人 ：
郑越
优先权 ：
CN201921456338.2
主分类号 ：
C25F3/02
IPC分类号 ：
C25F3/02 C25F7/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C25
电解或电泳工艺；其所用设备
C25F
电解法除去物体上材料的方法；其所用的设备
C25F3/00
电解浸蚀或抛光
C25F3/02
浸蚀
法律状态
2020-07-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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