一种半导体设备粉尘去除装置
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摘要
本实用新型公开了一种半导体设备粉尘去除装置，包括吸尘体、导气管和蓄水箱，所述吸尘体包括吸收管、塑料管和手动拉伸杆，所述塑料管的内腔中安装有风机，其外侧壁的顶部固定粘接有垫块，所述垫块上设有与之传动连接的调向轴，所述手动拉伸杆的侧壁与调向轴的外壁固定粘接，所述塑料管远离吸收管的一侧与导气管的一端固定粘接，所述蓄水箱的内腔中竖直设置有伸入管，其内腔中盛有自来水。该半导体设备粉尘去除装置，通过设置了蓄水箱、进液管、伸入管和自来水，通过进液管将自来水加入蓄水箱内，当空气带着粉尘并排入蓄水箱时，空气中的粉尘会被自来水吸收，防止被吸收的粉尘重新溢出至外界环境，使去除粉尘的效果更好。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体设备粉尘去除装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921462771.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-04
授权号 ：
CN210543993U
授权日 ：
2020-05-19
发明人 ：
徐宏进
申请人 ：
扬州国润半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省扬州市高新技术产业开发区华钢路8号1
代理机构 ：
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司
代理人 ：
李洪波
优先权 ：
CN201921462771.7
主分类号 ：
B01D47/02
IPC分类号 ：
B01D47/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D47/00
用液体作为分离剂从气体、空气或蒸气中分离弥散的粒子
B01D47/02
使气体、空气或蒸气从液体浴槽上或浴槽里通过
法律状态
2020-05-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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