一种半导体制程尾气粉尘清洗设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体制程尾气粉尘清洗设备，包括有底座和洗涤筒，底座上的水泵一端接通有输水管，所述洗涤筒设有混流喷嘴，所述混流喷嘴与输水管接通，所述混流喷嘴的出水口设于空腔的中部，所述混流喷嘴一侧接通有进气管，所述洗涤筒上设有出气管，所述洗涤筒底部设有出泥管，所述出泥管与底座上泥泵相接通。本实用新型使用水泵将水加压送入混流喷嘴内，将尾气吸入混流喷嘴内和水混合，设置混流喷嘴小于输水管的口径，将尾气快速的吸入混流喷嘴内和水混合，水和尾气的混合体在混流喷嘴的喇叭出口处因压力变化形成微气泡，强力射流会将微气泡带入洗涤筒的空腔深处，增加气体溶解及微粒子捕捉的效率，提高处理效果。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体制程尾气粉尘清洗设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020822617.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-18
授权号 ：
CN212417388U
授权日 ：
2021-01-29
发明人 ：
郑哲勳廖孝平
申请人 ：
昆山利哲祥机械材料有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市玉山镇恒龙国际机电五金市场1号楼454室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020822617.2
主分类号 ：
B01D47/10
IPC分类号 ：
B01D47/10
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D47/00
用液体作为分离剂从气体、空气或蒸气中分离弥散的粒子
B01D47/10
文杜里涤气器
法律状态
2021-01-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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