一种MEMS制程用有机清洗设备
公开
摘要
本发明公开了一种MEMS制程用有机清洗设备，属于芯片清洗技术领域，该清洗设备包括清洗箱体，清洗箱体两侧分别设置有进料口与出料口，清洗箱体内设置有有机清洗池，有机清洗池与进料口连通，进料口与有机清洗池通过输入轨道连通，输入轨道上设置有吹风筒，有机清洗池远离输入轨道一侧设置有输出轨道，输出轨道一侧远离有机清洗池一侧设置有检查箱，检查箱内设置有打包组件，出料口与打包组件通过滑槽连通，清洗箱体上设置有控制面板，控制面板通过导线与有机清洗池、输出轨道、检查箱、打包组件连接，本发明具有针对MEMS制程的有机清洗并做打包处理，避免出现二次污染问题，且本发明在节省有机溶剂的同时还能够有效的提高清洗效果。
基本信息
专利标题 ：
一种MEMS制程用有机清洗设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114602875A
申请号 ：
CN202210140575.8
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-02-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
吴汉涛薛殿友孙珏
申请人 ：
无锡恒大电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市建筑西路599-1（1号楼）1918室
代理机构 ：
无锡风创知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
邱国栋
优先权 ：
CN202210140575.8
主分类号 ：
B08B3/08
IPC分类号 ：
B08B3/08 B08B3/10 B08B3/14 B08B13/00 B65G45/22 B65B41/10 B65B31/06 B65B11/06 B65B51/10 B65B61/10
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/08
具有化学作用或溶解作用的液体
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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