本实用新型涉及一种半导体制程管路清洗装置，包括：机架；设置在所述机架内的水槽，其与至少三个管路连通，所述至少三个管路包括进水管路、抽水管路和回水管路，所述抽水管路分设有与被清洗管路连接的第一支路和与废液排水管连接的第二支路；所述抽水管路设置有气体腔室通过进气电磁阀与外部气源连接；设置在所述机架内的抽水组件；控制系统。与现有技术相比，本实用新型同时设置有CDA/N2外接口和鼓风机与抽水管路连通，在工作时，既可以使用外部气源，也可以采用内部气源保证管内气压，同时设置有多个传感器、电磁阀和继电器，通过多重的检查控制保证了工作时的设备运行安全。