一种半导体制程管路清洗装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型涉及一种半导体制程管路清洗装置,包括:机架;设置在所述机架内的水槽,其与至少三个管路连通,所述至少三个管路包括进水管路、抽水管路和回水管路,所述抽水管路分设有与被清洗管路连接的第一支路和与废液排水管连接的第二支路;所述抽水管路设置有气体腔室通过进气电磁阀与外部气源连接;设置在所述机架内的抽水组件;控制系统。与现有技术相比,本实用新型同时设置有CDA/N2外接口和鼓风机与抽水管路连通,在工作时,既可以使用外部气源,也可以采用内部气源保证管内气压,同时设置有多个传感器、电磁阀和继电器,通过多重的检查控制保证了工作时的设备运行安全。
基本信息
专利标题 :
一种半导体制程管路清洗装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020063452.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-01-13
授权号 :
CN212216488U
授权日 :
2020-12-25
发明人 :
王迎来
申请人 :
无锡虎虎机电科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市新吴区深港都会广场10-1314
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202020063452.5
主分类号 :
B08B9/032
IPC分类号 :
B08B9/032 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B9/00
用专门的方法或设备清洁空心物品
B08B9/02
清洁管道、管子、管子系统或管道系统
B08B9/027
清洁内表面;去除堵塞物
B08B9/032
靠运动流体的机械作用,例如,靠冲洗
法律状态
2021-05-21 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : B08B 9/032
变更事项 : 专利权人
变更前 : 无锡虎虎机电科技有限公司
变更后 : 江苏虎虎机电科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 214000 江苏省无锡市新吴区深港都会广场10-1314
变更后 : 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道228号天安智慧城3-1208
变更事项 : 专利权人
变更前 : 无锡虎虎机电科技有限公司
变更后 : 江苏虎虎机电科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 214000 江苏省无锡市新吴区深港都会广场10-1314
变更后 : 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道228号天安智慧城3-1208
2020-12-25 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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