本实用新型涉及一种半导体设备制程厂房的微震监测装置，涉及地震监测设备的技术领域，解决了传感器埋入地下时，由于土地内的氧化物质会对传感器的表面进行氧化磨损的问题，其包括传感器和数据处理显示器，传感器与数据处理器之间设置有电线，传感器的外壁套设有保护管，保护管的侧壁设置有用于卡紧传感器的抵紧件，保护管的上端卡接有管盖，管盖包括盖板一和盖板二，盖板一与盖板二于侧壁的一端铰接，管盖与垂直管盖拆分线的侧壁上固定连接有合页一，保护管的上端于合页一的对称位置处固定连接有合页二，合页一与合页二之间设置有紧固件。本实用新型具有减少传感器在地下产生氧化损坏的效果。