湿制程设备

授权

摘要

本实用新型提供一种湿制程设备，在机架设置有：一基板输送装置、一加工液增压吸引装置以及一加工液增压喷洒装置，利用加工液增压吸引装置的第一供液泵抽吸加工液，加工液通过第一增压器的第一内管体，而由第一喷流口喷向第一增压通道，加工液在喷出第一增压通道时会在吸液口形成极大的负压，致使吸液管通过底面的复数个吸嘴快速吸引喷附在基板顶面的加工液，利用加工液增压喷洒装置的第二供液泵抽吸加工液，加工液通过第二增压器的第二内管体，而由第二喷流口喷向第二增压通道，加工液在喷出第二增压通道时会在第二外环体底部形成极大的负压，大量吸引外部的空气而与加工液混合，致使喷嘴喷出的加工液粒径得以自然微小化。

基本信息

专利标题：

湿制程设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920725106.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-20

授权号：

CN210781579U

授权日：

2020-06-16

发明人：

吕信达

申请人：

登泰电路机械股份有限公司

申请人地址：

中国台湾桃园市

代理机构：

北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司

代理人：

孙皓晨

优先权：

CN201920725106.6

主分类号：

H05K3/06

IPC分类号：

H05K3/06