本实用新型旨在揭示一种制程设备辅助进气口，其主要是在装置本体内设有一处理区，该装置本体为该处理区提供一主气流，而该处理区内设有一辅助进气部，该辅助进气部延伸有多个辅助气管，该辅助气管上设有多个辅助气孔；且因辅助气管内气流会随辅助气孔向外喷出，故辅助气管末端的气体压力必然较辅助气管头端小，为避免辅助气管各辅助气孔所喷出的辅助气流流量相差甚大而降低散热、制程效果，故该辅助气孔的大小可由辅助气管的末端向头端渐缩，于辅助气管头端以较小的辅助气孔来抑制过多的辅助气体喷出，减少头端的流量；在辅助气管末端以较大的辅助气孔来减少辅助气体喷出的压力，增加末端的流量，以辅助气体均匀喷出至处理板各处。