制程控制方法及制程控制系统
授权
摘要
本发明提供一种制程控制方法及制程控制系统，所述制造流程控制方法，用于半成加工物料的运输过程中进行检测，半成加工物料于运输过程中是以运输工具承载。通过检测的半成加工物料，则载入制程设备中。检测可包括限制检测、制程及设备检测以及加工程序比较检测。另外当载入端口以及标示读取器是设置于运输工具上时，检测还可包括制造执行系统进站检测。本发明可以有效的减少制程设备空置及半成加工物料等待处理的时间，进而提高制程效率。
基本信息
专利标题 ：
制程控制方法及制程控制系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1763674A
申请号 ：
CN200510105193.8
公开（公告）日 ：
2006-04-26
申请日 ：
2005-09-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
廖元利
申请人 ：
台湾积体电路制造股份有限公司
申请人地址 ：
台湾省新竹科学工业园区新竹市力行六路八号
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN200510105193.8
主分类号 ：
G05B23/02
IPC分类号 ：
G05B23/02 G06F11/30 G06F15/00 H01L21/02
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制；调节
G05B
一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置
G05B23/02
•电检验式监视
法律状态
2009-07-01 ：
授权
2006-06-14 ：
实质审查的生效
2006-04-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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