本实用新型涉及一种湿制程设备的上压轮，供使用于一湿制程设备内，该上压轮包含一基底层与一包覆层，其中该基底层为具有相当弹性的硅胶，而该包覆层为抗腐蚀的塑料材，且该包覆层完整包覆该基底层的外围，据而通过该基底层所提供的弹性以及该包覆层所具有的抗腐蚀特性，其形成一种具有弹性且抗腐蚀的上压轮，该上压轮可用于湿制程设备内，由于其具有良好抗腐蚀的特性，因而可增加其使用寿命。