制程腔室上的连接装置
专利权的终止
摘要
本实用新型提供了一种制程腔室上的连接装置，用于连接电源线和等离子产生源。该连接装置包括与等离子产生源连接的连接器、穿过电源线与连接器的螺栓以及与螺栓配合将电源线与连接器固定的螺母；所述螺栓与电源线和连接器螺纹配合。相较现有技术，本实用新型提供的连接装置，通过螺栓与电源线和连接器螺纹配合提高了连接装置的稳定性。
基本信息
专利标题 ：
制程腔室上的连接装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200820057694.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2008-04-24
授权号 ：
CN201188464Y
授权日 ：
2009-01-28
发明人 ：
胡旭峰胡凯峰毛国胤陈亮
申请人 ：
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请人地址 ：
201203上海市张江路18号
代理机构 ：
上海思微知识产权代理事务所
代理人 ：
屈蘅
优先权 ：
CN200820057694.2
主分类号 ：
H01R4/30
IPC分类号 ：
H01R4/30 H01L21/00
相关图片
法律状态
2018-05-18 ：
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : H01R 4/30
申请日 : 20080424
授权公告日 : 20090128
申请日 : 20080424
授权公告日 : 20090128
2013-03-27 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101554793986
IPC(主分类) : H01R 4/30
专利号 : ZL2008200576942
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130306
号牌文件序号 : 101554793986
IPC(主分类) : H01R 4/30
专利号 : ZL2008200576942
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130306
2009-01-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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