水平湿制程的输送装置
授权
摘要
本实用新型提供一种水平湿制程的输送装置，应用于湿制程设备。输送装置利用驱动器驱动以输送弧状可挠性基板，弧状可挠性基板由可制造弧面的治具所固定而成。输送装置包括本体以及二列对夹抵压轮组，二列对夹抵压轮组分别设置于本体的两侧。二列对夹抵压轮组具有相对应的上抵压轮与下抵压，且位于本体的传输区域中，上抵压轮用以抵压位于治具上的弧状可挠性基板的上表面，下抵压用以抵压治具的下表面。于湿制程过程中，利用二列对夹抵压轮组定位弧状可挠性基板，可提高定位稳定性且操作便利。
基本信息
专利标题 ：
水平湿制程的输送装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021375203.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-14
授权号 ：
CN213078876U
授权日 ：
2021-04-30
发明人 ：
黄乃为林文彬
申请人 ：
联策科技股份有限公司;雷冈科技股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾桃园市
代理机构 ：
北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
李林
优先权 ：
CN202021375203.6
主分类号 ：
B05B13/02
IPC分类号 ：
B05B13/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置；雾化装置；喷嘴
B05B13/00
不包含在B05B1/00至B05B11/00各组中的，用喷射的方法在物体或其他工件的表面涂布液体或其他流体的机器或设备
B05B13/02
支撑工件的装置；喷头的配置或安装；进给工件装置的改进或配置
法律状态
2021-04-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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