水平湿制程装置

授权

摘要

本实用新型提供一种水平湿制程装置，包括弧状管体以及复数个喷头。弧状管体配合弧状可挠性基板的弧状设置。复数个喷头间隔排列设置于弧状管体上，且各喷头与各通孔形成连通，各喷头喷液至弧状可挠性基板的位置等距。凭借相配合的弧状可挠性基板与弧状管体设计，因各喷头喷液能同时、稳定等距及相同的水压力量喷洒至弧状可挠性基板，使药液能够均匀且同时于弧状可挠性基板上作用。弧状管体上的各喷头与弧状可挠性基板，可增加药液向二侧泄流速度，减少药液滞留于弧状可挠性基板上，降低不合格率的产生。

基本信息

专利标题：

水平湿制程装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021303991.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-06

授权号：

CN212677459U

授权日：

2021-03-09

发明人：

黄乃为林文彬

申请人：

联策科技股份有限公司;雷冈科技股份有限公司

申请人地址：

中国台湾桃园市

代理机构：

北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司

代理人：

李林

优先权：

CN202021303991.8

主分类号：

H05K3/00

IPC分类号：

H05K3/00