水平式湿制程设备的药液供给系统
授权
摘要
本实用新型提供一种水平式湿制程设备的药液供给系统，包括横向依序并排有多个槽室的主设备单元及包括多组由药液添加槽、计量杯及液位浮球组件所形成的计量结构的药液添加单元。药液添加槽安装于槽室上。计量杯安装位置低于药液添加槽。计量杯内设有可调高度的活塞且于下方形成计量空间，计量杯另设有供液管及输液管与计量空间相连通，供液管连接于药液添加槽与计量杯之间；输液管连接于计量杯与槽室的设备槽之间；液位浮球组件安装于计量杯上且与计量空间内连通；藉此，供液管开启，输液管关闭，药液添加槽内药液会利用重力流至计量杯，在注满计量空间后触发液位浮球组件而令供液管关闭，之后在适当时机开启输液管，就能输出正确的添加液量。
基本信息
专利标题 ：
水平式湿制程设备的药液供给系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922052819.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-25
授权号 ：
CN211019466U
授权日 ：
2020-07-14
发明人 ：
黄信航
申请人 ：
黄信航
申请人地址 ：
中国台湾桃园市
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
许静
优先权 ：
CN201922052819.3
主分类号 ：
H05K3/00
IPC分类号 ：
H05K3/00 G01F19/00 G01F23/58
法律状态
2020-07-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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