清洗药液供给装置以及清洗药液供给方法
公开
摘要
提供一种清洗药液供给装置及方法。一个清洗装置中，可供给不同药液于基板，且浓度可变。所述装置具有：第一混合器，混合第一药液与稀释水并供给于将调整为所需流量及浓度的第一药液供给于第一位置的第一喷嘴；第二混合器，混合第一药液与稀释水并供给于将为所需流量及浓度的第一药液供给于第二位置的第二喷嘴；第一稀释水控制箱，控制供给第一及第二混合器的稀释水流量；第三混合器，混合第二药液与稀释水并供给于将调整为所需流量及浓度的第二药液供给于第三位置的第三喷嘴；第四混合器，混合第二药液与稀释水并供给于将调整为所需流量及浓度的第二药液供给于第四位置的第四喷嘴；以及第二稀释水控制箱，控制供给第三及第四混合器的稀释水流量。
基本信息
专利标题 ：
清洗药液供给装置以及清洗药液供给方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114570261A
申请号 ：
CN202111421977.7
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2021-11-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
豊増富士彦国泽淳次
申请人 ：
株式会社荏原制作所
申请人地址 ：
日本东京大田区羽田旭町11番1号
代理机构 ：
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨贝贝
优先权 ：
CN202111421977.7
主分类号 ：
B01F33/80
IPC分类号 ：
B01F33/80 B01F35/80 H01L21/67
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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