本实用新型公开了一种药液储液装置及药液供给系统，储液装置包括储液槽，及其进液开关，储液槽的进液开关前端还设有排液开关；药液供给系统包括混液装置及储液装置，混液装置及储液装置之间通过管路连接，储液装置包括储液槽，及其进液开关。本实用新型采用带有排液阀的储液槽，用于药液供给系统，由于增设排除废液的排液阀，该药液供给系统的循环路径大大缩短，两槽之间的输送管道缩短一半。因此，无论该系统的基础建设的设备成本，还是系统运行的动力成本，都得到了很大程度上的节省，同时，由于在每次用药之前，排除管道中残余变质药液，使得药液纯度变化偏差非常小，在后续的光刻工艺中，极大地提高了工艺精度，使得产品成品率得到显著提高。