处理液供给装置

专利权的终止

摘要

本发明以处理液回收型的处理液供给装置为对象，例如即使是上、下筐体用疏水性的材料形成、并且基板宽度方向以及基板搬送方向较为长大的装置，也能够有效地防止在基板处理中处理液从筐体间泄漏的情况。在设置在上、下筐体(20)、(30)上的上部以及下部喷嘴模块(22)、(32)的各外表面，设置有分别向基板搬送方向突出设置的、并且允许基板(B)通过的上部翼(25)以及下部翼(35)，上、下翼(25)、(35)以它们的相对向面间的距离比上部底板(21)以及下部顶板(34)的相对向面间的距离短的方式设定设置位置。

基本信息

专利标题：

处理液供给装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1907582A

申请号：

CN200610009216.X

公开（公告）日：

2007-02-07

申请日：

2006-02-14

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

竹市芳邦加藤博己村冈佑介

申请人：

未来视野股份有限公司

申请人地址：

日本东京都

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司

代理人：

高龙鑫

优先权：

CN200610009216.X

主分类号：

B08B3/00

IPC分类号：

B08B3/00 H01L21/304