处理液供给装置以及基板处理系统
授权
摘要
本公开涉及供给异物更少的处理液的处理液供给装置以及基板处理系统。抗蚀液供给装置(200)经由配设了用于去除抗蚀液中的异物的过滤器(206)以及用于送出抗蚀液的泵(207)的供给路径(202)，向涂布喷嘴(142)供给抗蚀液。在作为隔管泵的泵(207)以及过滤器(206)的上游侧配有设开闭阀(205)，在泵(207)以及过滤器(206)的下游侧配设有回吸阀(208)。控制部(U)进行使来自泵(207)的抗蚀液的送出停止的控制，以及进行在通过回吸阀(208)的动作使来自涂布喷嘴(142)的抗蚀液的喷出中断之后、将开闭阀(205)关闭以使所述喷出完全停止的控制。
基本信息
专利标题 ：
处理液供给装置以及基板处理系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109482381A
申请号 ：
CN201811057063.5
公开（公告）日 ：
2019-03-19
申请日 ：
2018-09-11
授权号 ：
CN109482381B
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
一野克宪中岛常长船越秀朗松冈伸明梶原正幸
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN201811057063.5
主分类号 ：
B05B9/04
IPC分类号 ：
B05B9/04 B05B15/40 B05B12/02 H01L21/67
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置；雾化装置；喷嘴
B05B9/00
喷射装置，用于排放液体或其他流体基本上不与气体或蒸气混合
B05B9/03
以供给液体或其他流体的方法为特征的
B05B9/04
带有压力容器或压缩容器；带有泵的
法律状态
2022-06-14 ：
授权
2020-07-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B05B 9/04
申请日 : 20180911
申请日 : 20180911
2019-03-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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