基板清洗装置及具有基板清洗装置的基板供给装置
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明提供一种基板清洗装置，即使基板表面一部分或整体带静电，也可以容易地清洗附着于基板表面的各种杂质及尘埃等。本发明的基板清洗装置具有移动自如地支承基板的框架和相对该框架旋转自如地安装的辊刷，利用所述辊刷擦拭并清洗所述基板的表面，所述辊刷由导电性刷构成。
基本信息
专利标题 ：
基板清洗装置及具有基板清洗装置的基板供给装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1835658A
申请号 ：
CN200510127066.8
公开（公告）日 ：
2006-09-20
申请日 ：
2005-11-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
松田直喜
申请人 ：
小松电子株式会社
申请人地址 ：
日本石川县
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
李贵亮
优先权 ：
CN200510127066.8
主分类号 ：
H05K3/26
IPC分类号 ：
H05K3/26
法律状态
2010-01-27 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-11-21 ：
实质审查的生效
2007-01-24 ：
发明专利申请公布说明书更正
更正卷 : 22
号 : 38
页码 : 扉页
更正项目 : 优先权
误 : 缺少优先权第二条
正 : 2005.09.30 JP 286469/05
号 : 38
页码 : 扉页
更正项目 : 优先权
误 : 缺少优先权第二条
正 : 2005.09.30 JP 286469/05
2006-09-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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