基板传送装置及基板清洗装置
授权
摘要
一种基板传送装置及基板清洗装置,基板传送装置(10)具备传送部(11),该传送部(11)具有相互向反方向旋转的下侧辊(13)及上侧辊(15),利用下侧辊(13)和上侧辊(15)夹持玻璃板(G)而进行传送,其中,下侧辊(13)在与玻璃板(G)的传送方向(X)正交的宽度方向上在比所述基板的尺寸长的范围上具有树脂制的表层部(26),表层部(26)与玻璃板(G)的下表面的所述宽度方向的整个范围抵接,上侧辊(15)具有轴(31)和设置在轴(31)的两端附近的橡胶制的弹性环(33),弹性环(33)与玻璃板(G)的上表面的宽度方向的两缘部附近部位抵接。
基本信息
专利标题 :
基板传送装置及基板清洗装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021728245.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-18
授权号 :
CN213591336U
授权日 :
2021-07-02
发明人 :
石川智章松谷将树
申请人 :
AGC株式会社
申请人地址 :
日本东京
代理机构 :
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人 :
杨青
优先权 :
CN202021728245.3
主分类号 :
B08B11/04
IPC分类号 :
B08B11/04 B08B1/04 B08B3/02 B08B13/00 B65G49/06 B65G13/00 B65G39/06
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B11/00
专门适用于清洁柔韧的或精致的物品的方法或装置
B08B11/04
专门用于平板玻璃的,如加工挡风玻璃前用的
法律状态
2021-07-02 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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