基板传送装置

专利权的终止

摘要

本发明公开了一种基板传送装置，更具体地，本发明公开一种基板传送装置，其能够通过控制一个气体喷射单元和一个气体抽吸单元而容易地在使基板更加平展的状态下传送浮在一个基板支撑板上的基板。所述基板传送装置包括：一个用于传送基板的基板传送单元；一个基板支撑板，其包括多个用于浮起所述基板的气体喷射单元以及多个用于使所述基板保持平展的气体抽吸单元；以及一个换气单元，其分别地导管连接至所述气体喷射单元和所述气体抽吸单元，用于所述气体喷射单元的气体喷射和所述气体抽吸单元的气体抽吸。

基本信息

专利标题：

基板传送装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1775641A

申请号：

CN200510123319.4

公开（公告）日：

2006-05-24

申请日：

2005-11-17

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

郑准模

申请人：

三发机电有限公司

申请人地址：

韩国庆尚南道

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

朱登河

优先权：

CN200510123319.4

主分类号：

B65G49/06

IPC分类号：

B65G49/06 B65G47/74