基板处理设备和基板传送方法
实质审查的生效
摘要
本发明构思提供了一种基板处理设备。所述基板包括：处理室，在所述处理室中处理基板；以及传送机器人，所述传送机器人将所述基板和设置在所述处理室的处理空间中的聚焦环传送到所述处理空间，并且所述传送机器人具有手部，其中所述处理室包括：处理容器，所述处理容器提供所述处理空间；卡盘，所述卡盘具有将所述基板支撑在所述处理空间中的支撑表面；以及提升销模块，所述提升销模块在所述基板由所述聚焦环支撑的状态下提升所述聚焦环的下表面，并且所述卡盘被设置为阻挡板，在所述阻挡板中未形成提升销孔。
基本信息
专利标题 ：
基板处理设备和基板传送方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114496699A
申请号 ：
CN202111247399.X
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2021-10-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李承培
申请人 ：
细美事有限公司
申请人地址 ：
韩国忠清南道
代理机构 ：
北京市中伦律师事务所
代理人 ：
钟锦舜
优先权 ：
CN202111247399.X
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20211026
申请日 : 20211026
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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