传送用轴、辊刷轴及基板处理装置
授权
摘要
本发明提供一种即使加长弯曲量也小的、用于传送基板的传送用轴。本发明的传送用轴，用于传送利用处理液进行处理的基板，该传送用轴包括：轴部(12)，具有由碳纤维形成的芯部件(13)和由对上述处理液有抗腐蚀性的合成树脂形成、包覆芯部件的外周面的外皮部件(14)；以及支承辊(6)，以预定间隔设置在该轴部的轴方向上，支承上述基板。
基本信息
专利标题 ：
传送用轴、辊刷轴及基板处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1814523A
申请号 ：
CN200510121666.3
公开（公告）日 ：
2006-08-09
申请日 ：
2005-12-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
西部幸伸藤田茂树矶明典和歌月尊彦牧野勉
申请人 ：
芝浦机械电子株式会社
申请人地址 ：
日本神奈川县
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
胡建新
优先权 ：
CN200510121666.3
主分类号 ：
B65G39/02
IPC分类号 ：
B65G39/02 B65G49/06 B08B7/04 B08B1/04 B08B3/04
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G39/00
装入辊道或其他型式机械输送机的辊柱，如驱动辊，或其配置
B65G39/02
单独辊柱和其所用支承件的配置
法律状态
2010-05-12 ：
授权
2008-01-30 ：
实质审查的生效
2006-08-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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