基板传送装置
专利权的终止
摘要
一种基板传送装置，包括具有不同固定磁性的第一磁性区块交替设置在相对两侧的承载平台，以及具有二组可变磁性的第二磁性区块设置在两侧的传送轨道，其中二组第二磁性区块间的距离大于承载基板的宽度，第二磁性区块与第一磁性区块间的斥力使承载平台能够磁浮于传送轨道之上，并借由改变第二磁性区块的磁性使承载平台朝特定方向做加速、减速、等速、往复移动的运动或停止运动。
基本信息
专利标题 ：
基板传送装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1838397A
申请号 ：
CN200610054799.8
公开（公告）日 ：
2006-09-27
申请日 ：
2006-03-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
潘俊斌
申请人 ：
友达光电股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹市
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
魏晓刚
优先权 ：
CN200610054799.8
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 B65G49/05
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-02-25 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 21/677
申请日 : 20060310
授权公告日 : 20080109
终止日期 : 20210310
申请日 : 20060310
授权公告日 : 20080109
终止日期 : 20210310
2008-01-09 ：
授权
2006-12-06 ：
实质审查的生效
2006-11-22 ：
实质审查的生效
2006-09-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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