基板清洗装置
授权
摘要
本实用新型涉及基板清洗装置(100)，基板清洗装置(100)将待输送的玻璃板(G)的正面和背面中的至少一个面作为被清洗面进行清洗，具备：盘刷(23)，一边旋转一边与玻璃板(G)的表面接触；框架(33)，支承盘刷(23)；及测力传感器(61)，设置于框架(33)而对施加于玻璃板(G)的表面的盘刷(23)的载荷进行测定。
基本信息
专利标题 ：
基板清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122572631.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-25
授权号 ：
CN216175148U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
堀江满加藤贤太郎
申请人 ：
AGC株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
杨青
优先权 ：
CN202122572631.9
主分类号 ：
B08B11/04
IPC分类号 ：
B08B11/04 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B11/00
专门适用于清洁柔韧的或精致的物品的方法或装置
B08B11/04
专门用于平板玻璃的，如加工挡风玻璃前用的
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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