用于芯片封装制程的药液供给装置及使用方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了用于芯片封装制程的药液供给装置及使用方法,其中,用于芯片封装制程的药液供给装置包括:架体、缓存箱、补给箱、输液管件和排气管件;架体具有上下设置的上支撑件和下支撑件;缓存箱设置在下支撑件上,并具有开口朝下的缓存出液口;补给箱设置在上支撑件上并具有开口朝下的出液口;输液管件连通缓存箱与补给箱,输液管件包括可拆卸安装固定在出液口上的封盖、设置在封盖上并与补给箱连通的出液管、与缓存箱连通的连接管和设置在连接管与出液管之间的阀体,阀体与连接管可拆卸连接固定。本发明它降低了药液转移后进入到缓存箱内的药液含有的气泡,同时,由于缓存箱的出液口设置在缓存箱的底部,能够减少药液在缓存箱内的残留。

基本信息
专利标题 :
用于芯片封装制程的药液供给装置及使用方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114313654A
申请号 :
CN202111681743.6
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-12-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
游盛天朱刚
申请人 :
颀中科技(苏州)有限公司;合肥颀中科技股份有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市工业园区凤里街166号
代理机构 :
苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
段友强
优先权 :
CN202111681743.6
主分类号 :
B65D88/54
IPC分类号 :
B65D88/54  B65D90/00  B65D90/48  B65D90/54  H01L21/67  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65D
用于物件或物料贮存或运输的容器,如袋、桶、瓶子、箱盒、罐头、纸板箱、板条箱、圆桶、罐、槽、料仓、运输容器;所用的附件、封口或配件;包装元件;包装件
B65D88/00
大型容器
B65D88/54
以使用便于装料或排空装置为特点的
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B65D 88/54
申请日 : 20211230
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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