本实用新型涉及一种半导体制程管路清洗装置管路结构，它包括水槽以及与所述水槽连通的至少三个管路，所述至少三个管路包括进水管路、抽水管路和回水管路，所述抽水管路分设有与被清洗管路连接的第一支路和与废液排水管连接的第二支路；所述抽水管路设置有气体腔室通过进气电磁阀与外部气源连接，所述水槽内还设置有加热器。通过将水槽与至少三个管路相连通，并将抽水管路分为与被清洗管路连接的第一支路和与废液排水管连接的第二支路，从而保证清洗、通气的要求。