一种用于半导体抛光的输送管路清洗装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于半导体抛光的输送管路清洗装置，其包括：推车本体，底部设有万向轮，推车本体的内部上方和下方分别设有管路容置腔和清洗桶容置腔；清洗桶，放置在清洗桶容置腔内，清洗桶包括依次并排放置的第一纯水桶、KOH桶和第二纯水桶，第一纯水桶、KOH桶和第二纯水桶的底部均经液位传感器和气动阀门与电动水泵的入口相连接，电动水泵的出口经连接管与待清洗的输送管路相连接，其中，KOH桶内设置有KOH溶液；纯水管路，一端与外部的纯水供水管路相连接，纯水管路的另一端穿过管路容置腔后分别与第一纯水桶、KOH桶和第二纯水桶的顶部相连通。本实用新型不仅清洗效果好、清洗效率高，而且使用简单方便、安全性高。
基本信息
专利标题 ：
一种用于半导体抛光的输送管路清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020914632.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-27
授权号 ：
CN212597655U
授权日 ：
2021-02-26
发明人 ：
彭代全
申请人 ：
上海裕诗实业有限公司
申请人地址 ：
上海市松江区新松江路1800弄3号
代理机构 ：
上海伯瑞杰知识产权代理有限公司
代理人 ：
王一琦
优先权 ：
CN202020914632.X
主分类号 ：
B08B9/032
IPC分类号 ：
B08B9/032 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B9/00
用专门的方法或设备清洁空心物品
B08B9/02
清洁管道、管子、管子系统或管道系统
B08B9/027
清洁内表面；去除堵塞物
B08B9/032
靠运动流体的机械作用，例如，靠冲洗
法律状态
2021-02-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
