抛光垫清洗装置
授权
摘要
本实用新型为一种抛光垫清洗装置，包括毛刷结构，毛刷结构包括能周向旋转的盘面毛刷，盘面毛刷用于抵靠接触且旋转清洁抛光垫；盘面毛刷安装于毛刷臂上，毛刷臂的一端连接升降部上，升降部上设置能驱动毛刷臂在水平方向上摆动和能驱动盘面毛刷周向旋转的旋转驱动部；盘面毛刷的一侧设置压力清洗结构，压力清洗结构用于修复抛光垫；抛光垫清洗装置还包括控制部，控制部用于盘面毛刷旋转状态、毛刷臂旋转状态、升降部升降状态和压力清洗结构清洗状态的控制。该装置能利用盘面毛刷冲洗清洁、保湿抛光垫，利用压力清洗结构修整抛光垫，防止抛光垫脏污和磨损造成新硅片的损伤。
基本信息
专利标题 ：
抛光垫清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922496223.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-31
授权号 ：
CN211867467U
授权日 ：
2020-11-06
发明人 ：
杨兆明颜凯中原司
申请人 ：
浙江芯晖装备技术有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市海宁市海宁大道8号海宁科技绿洲1号楼105室
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
韩嫚嫚
优先权 ：
CN201922496223.2
主分类号 ：
B24B37/34
IPC分类号 ：
B24B37/34 B24B55/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/34
附件
法律状态
2020-11-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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