一种抛光硅片鼓泡清洗装置，包括氮气通入系统、纯水溢流系统和清洗系统，所述氮气通入系统包括氮气管路、氮气调压阀、氮气过滤器、氮气电磁阀和氮气流量计，所述纯水溢流系统包括纯水管路和纯水溢流气动阀，所述清洗系统包括纯水喷淋、清洗槽、载物板、和纯水溢流口，所述纯水喷淋设置在所述清洗槽的正上方，清洗槽内设置有所述载物板和设置在载物板的下方的所述纯水溢流口，载物板上开设有多个供氮气通过的透气孔。本实用新型公开的抛光硅片鼓泡清洗装置结构简单，安装操作方便，调小了喷淋的流量，减少了纯水的大量砰溅，“满槽‑排放”的次数减少，节约了纯水，降低了成本，提高了工作效率和产品的合格率。