一种用于抛光头的清洗装置及抛光设备
实质审查的生效
摘要
本发明提供的一种用于抛光头的清洗装置，包括：清洗基座具有轴向贯通的第一流道；第一清洗臂成型于清洗基座上，第一清洗臂具有轴向贯通的第二流道，第二流道与第一流道垂直且连通；第一清洗臂的两轴端处均成型有第二清洗臂，第二清洗臂具有轴向设置的第三流道；第三流道的一端与第二流道连通，第三流道的另一端封堵；第三流道与第二流道的夹角不小于90°，第三流道朝向背离清洗基座的方向向上延伸；第一清洗臂的背离清洗基座的一侧上设有第一喷洗头，第二清洗臂的背离清洗基座的一侧上设有第二喷洗头。本发明的清洗基座、第一清洗臂以及第二清洗臂为一体式设计，各部件之间不存在螺钉连接或者粘接，且相互衔接处不存在缝隙。
基本信息
专利标题 ：
一种用于抛光头的清洗装置及抛光设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114536219A
申请号 ：
CN202210206133.9
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-02-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
于静张敏杰王嘉琪李伟尹影
申请人 ：
北京烁科精微电子装备有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101
代理机构 ：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人 ：
王月
优先权 ：
CN202210206133.9
主分类号 ：
B24B53/017
IPC分类号 ：
B24B53/017
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B53/00
用于修整或调节研磨表面的装置或工具、
B24B53/017
用于修整、清洁或者调节研具的设备或装置
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 53/017
申请日 : 20220228
申请日 : 20220228
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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