一种半导体制程超声波清洗机
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体制程超声波清洗机，涉及清洗设备技术领域，包括：箱体、万向轮、控制器、扶杆、安装座、电动推杆；箱体底部四角均固定连接有万向轮；箱体正面一侧均固定连接有控制器；箱体左右两侧顶部均固定连接有扶杆；左右两侧底部均固定连接有安装座；有益效果在于：通过清洗杆可将需要进行清洗的石英绝缘环套在清洗杆上，然后将防脱盖镶嵌在清洗杆顶部，防止清洗时，石英绝缘环漂浮起来从清洗杆顶部跑出；通过螺栓与螺纹孔为螺纹连接，使清洗杆便于从清洗架内部拆卸下来，从而使清洗杆便于拆装；同时使石英绝缘环便于拿取；从而通过设置清洗杆便于对石英绝缘环进行安装清洗，使石英绝缘环可有序的套在清洗杆上。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体制程超声波清洗机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123014104.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-03
授权号 ：
CN216441264U
授权日 ：
2022-05-06
发明人 ：
唐伟东张阳芳周晓娟
申请人 ：
苏州杉树园半导体设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区浒墅关镇城际路21号2幢2101室
代理机构 ：
杭州知杭知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
夏艳
优先权 ：
CN202123014104.2
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B3/10
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2022-05-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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