晶圆湿制程设备中晶圆清洗用挂篮抖动装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种晶圆湿制程设备中晶圆清洗用挂篮抖动装置，包括抖动驱动机构，所述抖动驱动机构上安装有抓手机构，通过所述抖动驱动机构驱动所述抓手机构上下往复运动，所述抓手机构上设有挂架机构，通过所述挂架机构提挂放置晶圆用的挂篮。本实用新型所提供的晶圆湿制程设备中晶圆清洗用挂篮抖动装置，其结构简明，实用性强，通过抖动驱动机构驱动抓手机构往复抖动，带动挂架机构及挂篮先行去除粉末和水滴；通过在抓手机构下设置挂架机构，使抓手机构不直接接触挂篮，由于挂篮在清洗过程中处于于处理槽内，以此，抓手机构也就远离于挂篮，进而避免与处理槽内药水接触。

基本信息

专利标题：

晶圆湿制程设备中晶圆清洗用挂篮抖动装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922317682.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-22

授权号：

CN211679048U

授权日：

2020-10-16

发明人：

王振荣刘红兵朱雄方琴剑

申请人：

上海新阳半导体材料股份有限公司

申请人地址：

上海市松江区思贤路3600号

代理机构：

上海脱颖律师事务所

代理人：

李强

优先权：

CN201922317682.X

主分类号：

B08B3/08

IPC分类号：

B08B3/08 B08B3/10 B08B13/00