一种上粉擦粉装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种上粉擦粉装置，涉及半导体器件加工技术领域。包括真空负压机、空心轴电机、负压管和吸盘，所述空心轴电机由旋转电机与旋转轴组成，所述旋转电机的一侧设有连接圆管，所述旋转轴安装在旋转电机的中部，所述旋转轴呈空心圆柱体，旋转轴的中空处与连接圆管连通，所述吸盘安装在旋转轴上，所述吸盘呈圆盘状，吸盘的中间设一个贯通孔，所述贯通孔与所述旋转轴连通，所述负压管的一端与所述连接圆管连通，所述负压管的另一端连接至真空负压机，本实用新型能够快速的对半导体器件进行快速的上粉擦粉，并且将上粉擦粉过程中多余的玻璃粉通过真空负压机抽出收集，防止玻璃粉散播至空气中造成粉尘污染。
基本信息
专利标题 ：
一种上粉擦粉装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921503168.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-10
授权号 ：
CN210847028U
授权日 ：
2020-06-26
发明人 ：
王坚红徐明成陈锋黄国军王锋
申请人 ：
常山弘远电子有限公司
申请人地址 ：
浙江省衢州市常山县金川街道柚都北路2号
代理机构 ：
北京科家知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈娟
优先权 ：
CN201921503168.9
主分类号 ：
B05C19/04
IPC分类号 ：
B05C19/04 B05C19/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C19/00
专门用于对表面涂布微粒物质的装置
B05C19/04
微粒物质喷射、浇注或允许流到加工表面的
法律状态
2020-06-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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