一种晶圆片擦粉机及其擦粉机构
授权
摘要
本实用新型提供了一种晶圆片擦粉机的擦粉机构，半导体元件制造设备技术领域，包括行星齿轮组和用以连接擦粉专用滤纸的强磁体，强磁体设于行星齿轮组下端面，采用行星齿轮组作为传动机构，并在行星齿轮组下端面设置用以连接擦粉专用滤纸的强磁体，使得擦粉专有滤纸既有部分能实现绕中心公转，同时也有部分能实现绕自身的中心自转，使得擦粉效果更好。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆片擦粉机及其擦粉机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022379020.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-22
授权号 ：
CN213459660U
授权日 ：
2021-06-15
发明人 ：
李健儿李学良马晓洁唐毅谢雷敬毅
申请人 ：
四川洪芯微科技有限公司
申请人地址 ：
四川省遂宁市射洪县经济开发区河东大道
代理机构 ：
成都睿道专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杨洪婷
优先权 ：
CN202022379020.8
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/329
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-06-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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