晶圆片铲片机构

授权

摘要

本实用新型涉及一种晶圆片铲片机构，包括输送平台及对应设置在输送平台上方的铲片单元，所述铲片单元包括铲片支架、铲片动力件、滑块及铲板，所述铲片动力件固定在铲片支架上，铲片动力件通过滑块与铲板连接并可驱动其移动，所述铲板与水平面相倾斜，铲板一端与滑块底端铰接，铲板中部与滑块之间通过弹簧弹性连接，铲板受到压力时可绕滑块旋转，不受压力时通过弹簧复位。该晶圆片铲片机构通过铲片单元、旋转升降单元及定位单元的相互配合，能够快速有效地将晶圆片从陶瓷盘上铲下，自动化程度高，加工效率较高，且不会损伤晶圆片，保证了产品质量。

基本信息

专利标题：

晶圆片铲片机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921320181.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-14

授权号：

CN210040154U

授权日：

2020-02-07

发明人：

李继忠李述周朱春

申请人：

常州科沛达清洗技术股份有限公司

申请人地址：

江苏省常州市武进区潞城街道富民路299号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921320181.0

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67