晶圆片贴片平片机构

授权

摘要

本实用新型涉及一种晶圆片贴片平片机构，包括定位台、翻转组件以及平片组件，翻转组件对应设置在定位台一侧，包括动力件、旋转轴及吸盘，动力件与旋转轴连接，吸盘固定在旋转轴上，动力件可驱动旋转轴及吸盘左右、上下及翻转运动，平片组件对应设置在定位台上方，包括压紧驱动件及压紧气囊，压紧驱动件可驱动压紧气囊上下移动以压平陶瓷盘上的晶圆片，压紧气囊可通气实现鼓胀。该晶圆片贴片平片机构采用全自动翻转机构，大大提高了晶圆片的贴片范围，采用气囊对晶圆片进行平片处理，通过气囊的多次鼓胀逐渐使晶圆片与陶瓷盘完全贴合，大大提高了平片效果，且不会对晶圆片表面损伤，从而提高了产品质量。

基本信息

专利标题：

晶圆片贴片平片机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921320183.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-14

授权号：

CN210040155U

授权日：

2020-02-07

发明人：

李继忠李述周朱春

申请人：

常州科沛达清洗技术股份有限公司

申请人地址：

江苏省常州市武进区潞城街道富民路299号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921320183.X

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67