本实用新型涉及一种晶圆片吸盘机构及晶圆片吸附机械手，包括吸盘罩、吸盘外板、吸盘内板及密封圈，所述吸盘外板套设在吸盘罩底端，吸盘外板与吸盘罩固定连接，吸盘外板底端均匀开设有气孔及气道，所密封圈嵌入吸盘外板底端外缘，所述吸盘内板固定在吸盘罩内，吸盘内板内开设有吸气通道。该晶圆片吸盘机构及晶圆片吸附机械手采用特殊设计的吸盘，在进行下压吸附晶圆片时，不会造成晶圆片损坏，从而保证了晶圆片的质量，同时能够保证晶圆片与吸盘处于同一圆心，从而保证后续腐蚀精度。