晶圆吸盘盘体
授权
摘要
1.本外观设计产品的名称：晶圆吸盘盘体。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于储存芯片晶圆制造过程缺陷检测设备吸盘。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
基本信息
专利标题 ：
晶圆吸盘盘体
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202130472049.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-07-23
授权号 ：
CN307354855S
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
郭建华
申请人 ：
武汉中导光电设备有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市武汉经济技术开发区高科技产业园16号楼4楼
代理机构 ：
武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
韩梦晴
优先权 ：
CN202130472049.8
主分类号 ：
03-01
IPC分类号 ：
03-01
法律状态
2022-05-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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