晶圆片整形机构

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摘要

本实用新型涉及一种晶圆片整形机构，包括收拢组件及旋转组件，所述收拢组件用于使晶圆片向中心靠拢，包括收拢驱动件及两收拢夹爪，所述两收拢夹爪的两相对面上分别具有与晶圆片边缘相对应的弧形槽，所述收拢驱动件可驱动两收拢夹爪旋转以夹紧或松开晶圆片，所述旋转组件对应设置在收拢组件下方，用于固定晶圆片并驱动晶圆片旋转，包括旋转驱动件及旋转支撑座，所述旋转驱动件与旋转支撑座连接，旋转驱动件可驱动旋转支撑座旋转以使晶圆片旋转。该晶圆片整形机构通过收拢组件及旋转组件的相互配合，能够对晶圆片进行定位整形并寻边，从而保证了后续的贴片的精确性。

基本信息

专利标题：

晶圆片整形机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921320066.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-14

授权号：

CN210223994U

授权日：

2020-03-31

发明人：

李继忠李述周朱春

申请人：

常州科沛达清洗技术股份有限公司

申请人地址：

江苏省常州市武进区潞城街道富民路299号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921320066.3

主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/687 H01L21/67