晶圆吸盘检测系统
实质审查的生效
摘要
本申请提供一种晶圆吸盘检测系统，用于检测晶圆吸盘，晶圆吸盘定义有承载面，承载面包含第一检测区域与第二检测区域。所述晶圆吸盘检测系统包含第一摄影模块以及第二摄影模块。第一摄影模块设置于晶圆吸盘的第一侧，用以拍摄第二检测区域。第二摄影模块设置于晶圆吸盘的第二侧，用以拍摄第一检测区域。其中晶圆吸盘定义有中心线，第一侧与第二侧分别位于中心线的两侧，且第一检测区域与第二检测区域分别位于中心线的两侧。
基本信息
专利标题 ：
晶圆吸盘检测系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114371170A
申请号 ：
CN202011100422.8
公开（公告）日 ：
2022-04-19
申请日 ：
2020-10-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李明翰沈铭兴丁之尧陈建宾
申请人 ：
致茂电子（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州高新区珠江路855号（第七号厂房）
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
郭化雨
优先权 ：
CN202011100422.8
主分类号 ：
G01N21/88
IPC分类号 ：
G01N21/88
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
法律状态
2022-05-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/88
申请日 : 20201015
申请日 : 20201015
2022-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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