吸盘异物检测系统
授权
摘要
一种吸盘异物检测系统应用于一晶圆加工装置，并且包含一第一照明模组、一第二照明模组、影像撷取模组、一控制单元以及一影像识别单元。第一照明模组与第二照明模组在一作业区内设置晶圆吸盘的两侧。影像撷取模组设置于作业区，并位于晶圆吸盘的上方，用以撷取晶圆吸盘的影像。控制单元电性连结于第一照明模组、第二照明模组以及影像撷取模组，用以控制第一照明模组与第二照明模组依照一检测时序依序发光，并控制影像撷取模组依照检测时序撷取多个低反光影像。影像识别单元电性连结于影像撷取模组，用以分析低反光影像而判断晶圆吸盘是否有异物。
基本信息
专利标题 ：
吸盘异物检测系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022087852.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-22
授权号 ：
CN212848326U
授权日 ：
2021-03-30
发明人 ：
李明翰沈铭兴陈建宾
申请人 ：
致茂电子(苏州)有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区竹园路9-1号狮山工业园六号厂房
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
张燕华
优先权 ：
CN202022087852.2
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/683 G01N21/94
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-03-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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