本实用新型提供了一种用于硅片研磨机内齿圈的调整机构，包括手柄和与手柄相连的卡位圆盘，卡位圆盘连接于手柄的端部，卡位圆盘包括第一圆盘和第二圆盘，第一圆盘的底面还固定于第二圆盘的顶面，第一圆盘和第二圆盘均沿中心轴方向设有供研磨机顶杆穿过的通孔Ⅰ和通孔Ⅲ，通孔Ⅰ和通孔Ⅲ还互相重合，第二圆盘的直径还大于第一圆盘的直径，第二圆盘上还对称设有两个供中心齿轮销钉通过的通孔Ⅱ，手柄还连接于第一圆盘的侧壁。本实用新型使硅片研磨机内齿圈的拆装调整简单、安全高效。