分组控制石墨舟吸盘装置
授权
摘要
本实用新型涉及硅片制造领域，公开了一种分组控制石墨舟吸盘装置，包括多个吸盘组件和将多个吸盘组件连接在一起的紧固装置；所述紧固装置包括紧固板、紧固杆和安装板；所述吸盘组件和紧固板均安装在安装板上；所述多个吸盘组件和紧固板通过紧固杆串连成一个整体；所述吸盘组件上设置有三个吸气孔和与吸气孔连接的吸盘；所述紧固板上设置有三个吸嘴；每个吸嘴互相独立，三个吸嘴分别与相邻的吸盘组件的三个吸气孔连通。该装置一共三组吸盘，每组吸盘均通过单独的吸嘴进行吸真空，实现了每组吸盘的单独控制，并可分别调节真空压力，设备工作时三组吸盘依次吸真空，设备移动时三组吸盘同时吸真空。
基本信息
专利标题 ：
分组控制石墨舟吸盘装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921506571.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-11
授权号 ：
CN210403690U
授权日 ：
2020-04-24
发明人 ：
姜明
申请人 ：
苏州诚拓机械设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区木渎镇木胥东路25号工业园E6幢
代理机构 ：
苏州通途佳捷专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李阳
优先权 ：
CN201921506571.7
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2020-04-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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