一种石墨舟装卸片吸盘

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摘要

本实用新型提供一种石墨舟装卸片吸盘，其特征在于，包括吸盘主体，所述吸盘主体包括中心腔体和外部盘体，所述中心腔体为所述外部盘体的内部气腔通道；所述外部盘体上设置有四个定位孔，且规则的排列于外部盘体的表面四周；所述外部盘体上还设置有吸盘吸孔，位于外部盘体的中间且贯通于所述中心腔体，所述外部盘体的侧面开有进气孔，进气孔与所述中心腔体连通用于固定进气管，传送气体；所述吸盘主体为陶瓷材质。使用该石墨舟装卸吸盘安装于机械手吸附组上，可以解决装卸硅片过程中产生吸盘印的问题，进而保证硅片的良率。

基本信息

专利标题：

一种石墨舟装卸片吸盘

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921426867.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-30

授权号：

CN210956631U

授权日：

2020-07-07

发明人：

王志清王坤陆彦辉王银刘军王强高顺

申请人：

江苏润阳悦达光伏科技有限公司

申请人地址：

江苏省盐城市经济技术开发区湘江路58号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921426867.8

主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

H01L21/683 H01L21/677 H01L31/18